DCC25Aウェットオートマチックチップスライシングおよび挿入機は、半導体ウェーハの自動スライスとカセットの負荷向けに特別に設計されています。
ウェーハデバイスは、水圧を使用して積み重ねられたウェーハを1つずつ分離し、分離が困難な処理表面の一部を残します。光測定の確認後、ウェーハはマニピュレーターで固定された真空吸引カップによって分離されます。その後、柔軟なベルトで伝えられ、カセットに添えられます。
カセットは自動サーボリフティングを備えており、ウェーハの荷重/荷重は自動マニピュレーターによって処理されます。このシステムは、2つの接続されたシリコンウェーハを選択して対応するカセットに輸送できるデュアル-チャネルタイプとして設計されています。オペレーターは、挿入機にタンク内のウェーハが搭載されていることを確認する必要があります。
機器は、コンパクトな構造と小さなフットプリントで、迅速かつ安定して動作します。主要な電気コンポーネントは、オムロン、三菱、鍵、Turck、Festo、およびSMCから輸入されており、信頼できるパフォーマンス、長いサービス寿命、安定した操作を確保しています。
製品パラメーター
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生産フロー:
手動負荷→水の分離→欠陥検出→厚さ測定→分離→カセットへの挿入→輸送→アンロード
主要な資料:
アルミニウムプロファイルフレーム + SUS304フレーム。タンクはSUS304ブラシシートを使用します。
交通機関:
丸いベルト +ロボットアーム輸送。
製品機能とアプリケーション
ウェットデュアル-チャネルシステムを使用して、カセットへのウェーハの自動分離と挿入用に設計されています。
製品の詳細
挿入機器を分離するウェーハは、人員要件を削減し、分離中のウェーハの破損を最小限に抑え、次のプロセスのカセットの負荷を最小限に抑えます。
アプリケーションシナリオ
2024年7月、2セットのウェットデュアル-チャネル半導体ウェーハ分離と挿入機器が委託され、Yangzhou Yangjie Electronic Technology Co.、Ltdの顧客サイトで操作を開始しました。
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