研磨スラリー供給システムには、次のコンポーネントが含まれています。
- レベルセンサーを備えた1つの研磨スラリー供給バケット（60Lネット容量）
- 1つの混合システム
- 5〜12リットル/分の流量を持つ1つの供給システム（供給ポンプとフィルターを含む）
- PLC -制御温度調節を備えた1つのバレル熱交換システム（20-50度、±1度精度）
- PLCプログラムとProfinetインターフェイスを備えた1つの電気システム（PN/PNカプラーを介して）
- 1つのリサイクル研磨スラリーフィルターセット
- 1つの研磨スラリーリカバリデバイス
- 1つの回復ポンプ
- 最小2レベル検出器（ポンプ制御および異常なアラーム用）
- デュアル-機能リサイクルビン（リサイクルおよびダイレクトランキングセクション）フロー制御付き
製品パラメーター
01/
1.生産フロー：
複合→混合→供給
02/
2.重要な資料：
PPシェルプレートを備えた金属フレーム
PVDF空気圧ポンプ
PFA配管
03/
3.特別な機能：
pH平衡
サーモスタット制御
製品機能とアプリケーション
このシステムは、SICウェーハの製造に化学機械的研磨スラリーを供給します。
製品の詳細
輸入材料とPFA冷却コイルチューブを使用します
アセンブリ中の厳格な清潔さの制御
クラス10,000のクリーンルーム環境で製造されています
粒子と金属の汚染を防ぎます
アプリケーションシナリオ
2025年4月の時点で、研磨スラリー供給システムは、SICウェーハの生産のために100を超えるエンドの顧客に販売されています。
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