クリーニングユニットの挿入

挿入クリーニングユニットは、自動ウェーハクリーニング用に特別に設計されたカスタマイズされた機器です。自動ウェーハ分離は、自動分離メカニズムを通じて達成されます。分離後、マニピュレーターがカセットをクリーナーに転送します。クリーニングが完了すると、ロボットはカセットを並べ替えマシンのオーバーハーニングポジショニングプラットフォーム（水平配置）に移動します。掃除後、ロボットは空のカセットをカセットリターンラインに配置し、それを分離機の給餌位置に戻します。労働者は、シリコンウェーハが分離機の給餌溝に積み込まれていることを確認する必要があります。

クリーニングマシンの主要な生産ラインは、16の作業位置で構成されています。その作業原理は、強い超音波浸透による機械的振動を利用して、シリコンウェーハ表面に衝突し、洗浄剤の化学除染効果と組み合わせて、炭化シリコン、シリコン粉末、金属粉末、油染色、ウエーハの表面からの懸濁液体などの不純物を除去し、きれいなシリコンWAF培地になります。

クリーナーの電気制御システムの主要なコンポーネントは、インポートされた高-品質の部品で作られており、信頼性の高いパフォーマンス、長いサービス寿命、ポジションメモリ機能を確保します。ガントリーカートはスムーズに動作し、速くて信頼性の高い動きで動作します。大気汚染を防ぐために、エア吸引出口が上部に設置されており、ユーザーは排気用に外部エアダクトを接続する必要があります。

荷重と浸漬→超音波クリーニング→アルカリクリーニング1→アルカリクリーニング2→アルカリクリーニング3→アルカリクリーニング4→リンシング1→H2O2クリーニング→すすぎ2→すすぎ3→すすぎ4→リンシング

ウェーハの分離とクリーニング用に設計されています。

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