シリコンウェーハテクスチャリングクリーナーは、濃縮アルカリを使用して、単結晶シリコンウェーハの表面の機械的損傷層を除去します。波状のピラミッドテクスチャーを形成して、表面の反射を減らし、日光の吸収を強化します。さらに、濡れた化学洗浄プロセスは、ウェーハ表面からのオイルと金属の不純物を排除します。
製品パラメーター
カセットの読み込み→Pre -クリーニング→DIWクリーニング→DIWクリーニング→ダメージ層除去（SDE）→DIWクリーニング→テクスチャリングプロセス→DIWクリーニング→ポスト1処理（SC1）→DIWクリーニング→化学洗浄→DIWクリーニング→DIWクリーニング→Post 2処理（SC2）→DIWクリーニング→DIWクリーニング→DIWクリーニング→DIWクリーニング→DIWクリーニング→DIWクリーニングカセットアンロード
製品機能とアプリケーション
- シリコンウェーハ表面からオイルと金属の不純物を除去します。
- 単結晶シリコンの欠陥を防ぎ、均一なテクスチャリングを保証します。
製品の詳細
√酸-とアルカリ-耐性材料で構築された。最大5年間腐食はありません。
√2つまたは4つの側面でのオーバーフローをサポートします（v {-型の溝が装備されています）。
√共有タンクエリアの機械的アームは、インターロック機能を特徴としています。
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